10 月 14 日至 16 日,2026 湾区半导体产业生态博览会在深圳会展中心(福田)举行。深圳市盖斯帕克气体应用技术有限公司携 BSGS 、GC 特气柜、VMB/VMP 阀门分配箱、气体汇流排、精密调压组件及尾气处理 Scrubber 全系列自研产品,亮相 9 号馆 9B32 展位。作为深耕特气领域十六年的源头制造企业,盖斯帕克此次展示的并非单台设备,而是一条从"气体进厂"到"废气出厂的完整链路——这也成为本届展会厂务配套板块最受关注的展台之一。
正文
本届湾芯展以"芯向未来 智创生态"为主题,展览面积近 8 万平方米,同比增长 30%;参展企业超 1000 家,覆盖 22 个国家和地区,预计发布新品超 3000 件。展会设置晶圆制造、化合物半导体、先进封装、IC 设计/AI 基础设施四大主题展区,并新设 AIE AI 基础设施产业生态展,打通"芯片—算力—应用"闭环。规模之外,更值得留意的是产业结构的变化:当主设备国产化进入深水区,供气、尾气处理、洁净厂房这些"厂房底座"环节,正被推到台前。
一套被工程师围住的"大流量"方案
在 9B32 展位,交流热度最高的产品是盖斯帕克 BSGS。该机型针对外接卧倒 Y 瓶、大流量连续供气工况做了专项优化,在保障高纯介质输送的同时兼顾多重安全联锁,主要面向晶圆制造、第三代半导体、硅碳负极烧结等量产产线的大宗用气场景。
"量产线对供气系统的要求,和实验室、中试线完全不是一回事。"盖斯帕克现场技术负责人介绍,产线不会为供气系统停机,因此设备必须在长周期连续运行中保持压力稳定、密封可靠、报警可追溯,"我们做 BSGS 的出发点,是把'不间断'当成设计前提,而不是性能指标。"
与 BSGS 形成组合的是 GC 特气柜与 VMB/VMP 阀门分配箱。前者适配腐蚀性、易燃易爆、剧毒类特种气体,集成氮气自动吹扫、真空抽除、紧急切断与声光报警,构成密闭防爆的独立安全单元;后者承担工艺气体的集中分流与稳压切换,通过金属膜片阀与精密调压组件控制微渗漏。二者一"存"一"分",共同把气体从钢瓶安全送到工艺机台(POU)。
末端治理:一条容易被低估的合规红线
展台另一侧,等离子废气处理柜(Scrubber)吸引了不少 EHS 工程师驻足。盖斯帕克自研的等离子尾气处理设备利用高温等离子火焰对 PFC 类温室气体进行裂解,裂解后的酸性介质再经多级喷淋中和,可处理 SiH?、DCS 等易燃易爆气体及 CF? 等强温室效应气体。产品线覆盖电热水洗、水洗、电热式、吸附式、等离子等多种技术路线,可按废气成分组合配置。
在半导体厂的合规体系中,供气与尾气往往被拆成两个采购包,但在实际运行中,二者共用同一套气体流向、同一套安全逻辑。盖斯帕克把两端同时握在手里,意味着系统联调时不再需要三方扯皮——这也是现场不少项目负责人认为"省事"的关键。
十六年的底气,藏在看不见的工序里
2024 年之前,"特气柜"在国内多数项目中仍是进口品牌的默认选项。如今这一格局正在改变。盖斯帕克的路径并不复杂:把制造端做重。从盘面组装、氦检检漏,到 PLC 控制调试、整机出厂,全流程在自有工厂完成;施工端则拥有特种设备生产与压力管道施工全套资质,并自建无尘焊接施工团队,可承接从风险评估、方案设计、设备制造、管道二次配到系统联调、全周期运维的交钥匙交付。
截至目前,盖斯帕克已服务超 600 家客户,积累千余项工程案例,产品覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、负极材料、光伏太阳能、新能源与新材料等行业,适配 8 英寸/12 英寸晶圆、化合物半导体、MEMS 等不同类型产线。
结语
湾芯展的价值,从来不只在三天的展台。对本届超千家的参展企业而言,它更像一次产业链的公开对账:谁在做真正的底层能力,谁只是把一个柜子卖出去。盖斯帕克在 9B32 给出的答案是——把供气、分配、监控、治理、施工连成一条线,让国产特气系统从"能用"走向"敢用于量产"。这条路没有捷径,只能一年一年地焊下去。
